㈜오픈베이스(대표 송규헌www.openbase.co.kr)는 자회사인 ㈜나노베이스(대표 정진섭 www.nanobase.co.kr)가 카메라를 이용한 입체형상 검사장치와 이를 포함한 검사시스템 및 그 검사방법과 관련한 내용으로 특허를 취득했다고 15일 밝혔다.

일반적으로 LED나 반도체 웨이퍼 등과 같은 물체를 측정할 경우, 아주 정밀한 측정이 요구된다. 기존에 사용하는 레이저를 사용한 측정 방법은, 해당 측정 대상물의 투명도에 따라 측정 결과의 편차가 커서 정밀한 측정이 불가능했던 게 현실이다.

금번에 나노베이스가 특허를 취득한 것은, 카메라를 이용하여 측정 대상물의 형상을 측정하고 불량 여부를 판단하는 검사시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 파장 범위가 넓은 백색광을 이용하여 빛을 반사하는 각도 내에서 측정 대상물을 조사하고, 그 반사되는 빛을 고성능 카메라를 이용하여 측정하게 된다.

본 특허를 통해 반투명하거나 투명한 측정 대상물의 형상 검사가 가능하게 되며, 특히 LED의 경우 형상 검사 속도가 향상되며, 측정값의 오차 범위를 감소시켜 보다 정밀한 검사를 가능하게 한다. 뿐만 아니라, 여러 검사를 자동화하여 실행할 수 있어서 검사 효율을 대폭 증가시키는 뛰어난 효과가 있다.