실리콘 단결정 성장로는 실리콘 메탈을 폴리실리콘으로 만드는 주요 장비로 현재 전량 수입되고 있으나 수년 전부터 개발에 나선 오리엔탈머티리얼의 노력과 코디콤, 삼양옵틱스의 지원으로 국산화에 성공할 수 있었다.

공동개발 중인 코디콤과 삼양옵틱스측은 이 성장로 개발로 인해 향후 5년간 약 1,500억원 상당의 수입대체 효과가 있을 것으로 예상된다고 밝혔다.

단결정 성장로 개발시 가장 중요한 점은 직경제어시스템, 메인 히터장치, Hot-zone 설계 등 세가지 핵심부분에 대한 자체 설계 기술이다.

직경제어 시스템은 하드웨어 장비를 제어하는 안정적인 소프트웨어 기술이 핵심이다. 중국 제품이 문제가 많은 것도, 메이저 제품의 가격이 높은것도 이 제어시스템의 안정성에 따른 차이 때문이다.

메인 히터장치의 경우 국내에서는 설계는 물론 생산 가능한 업체가 전무한 실정이며 △Hot-zone의 경우 해외 제작사에서 주는 설계도면대로 가공하는 업체는 있지만, 자체 설계를 할 수 있는 국내 업체는 아직 없는 것으로 알려져 있다.

현재 중국 등지에서 해외 설비를 모방한 장비를 제작하는 업체도 있지만, 대만과 중국에서 실리콘로가 폭발하는 사고가 발생하고 생산된 폴리실리콘 품질이 떨어지는 등의 문제가 발생되고 있다는 보고가 있기도 해 이번 실리콘 성장로 국산화에 큰 의미가 있다고 할 수 있다.

옵션에 따라 가격은 천차만별이지만, 현재 반도체용 실리콘 장비는 6억~10억 원 정도, 태양전지용 실리콘 장비는 3~4억원 정도로 가격이 형성돼 있고 중국 모방품은 2.5~3억원 가량에 판매되고 있다.

장비 개발을 주도한 오리엔탈머티리얼 조용희 대표는 “실리콘 성장로의 핵심 기술인 메인히터, 직경제어시스템, Hot-zone을 모두 설계, 제조 가능해 짐으로써 향후 5년간 약 600대, 1500억원 가량의 수입 대체 효과가 있을 것으로 추산하고 있다”고 설명하고 “새로 개발한 실리콘 성장로 제조기술을 더욱 보완해 성능은 메이저 업체의 수준으로, 가격은 중국 제품 수준으로 맞출 것”이라 밝혔다.