케이맥은 지난 달 , 미국 샌프란시스코에서 개최된 ‘Semicon West 2013’ 에서 세계적인 IT 기업들이 자리한 가운데 자사 기술로 세계 최초 상용화에 성공한 극초박막 분석 장비인 Nano-MEIS를 선보여 해외 반도체 글로벌 기업으로부터 큰 호응을 얻었다고 26일 전했다. 이번 열린 Semicon West 2013은 세계 최대 반도체관련 박람회로 반도체 산업관련 기업들이 최신의 제품과 기술을 선보이고 글로벌 대기업들이 파트너를 물색하는 행사다.

이번 박람회에서 가장 큰 성과는 intel 및 Micron, Global Foundries 등 세계적인 반도체 IT업체들과 밀도있는 미팅 및 네트워크를 형성한 부분이다.

특히, 이번 박람회에서 intel 은 Supplier enquire라는 프로그램으로 향후 7nm 공정에 대한 분석, 제조, 측정기술에 대한 반도체 설비 업체에 대한 기술력을 확인하는 자리를 마련하였는데, intel 과 미팅하기 위해 수십여 반도체 설비 업체들이 신청한 가운데 사전 평가를 받아 9개 업체만이 미팅을 진행하였다. 한국에서는 유일하게 케이맥이 선정되었고 세계 최초로 상용화에 성공한 극초박막 분석기인 Nano-MEIS에 높은 관심을 보였으며 극찬을 아끼지 않았다. 또한, 구매 및 실 공정에 적용하기 위한 추가 자료를 요청하는 등 앞으로 Co-work을 긴밀히 다져갈 예정이다.

‘Semicon West 2013’과 동시에 진행된 반도체 관련 산,학,연 컨소시엄인 SEMATECH 포럼에도 참석하여 향후 반도체 제조 및 분석, 계측 기술에 대한 포스터 전시를 진행하여 Nano-MEIS 기술을 소개하는 자리를 마련하였다. 포럼에 참석한 엔지니어 및 관계자들은 Nano-MEIS의 기술 및 application에 높은 관심을 보였으며 기술력에 대한 놀라움을 감추지 못하였다.

이번 행사에 참여한 한 업계 관계자는 십여 년간 미국 반도체회사와 Network을 형성하려고 노력을 해도 기술력 등의 문제로 쉽게 접근하기 어려웠는데 케이맥은 최고의 기술을 이용한 분석장비를 이용하여 단숨에 글로벌 대기업들과 Network을 구축하고 높은 관심을 받아서 많이 부러웠다는 이야기를 전하기도 하였다.

케이맥의 한 관계자는 “세계 반도체 장비시장의 규모는 2013년 360억 달러에서 2014년 440억 달러로 매년 21%이상의 성장을 보이고 있다”면서 “시스템 반도체의 경우 intel 및 Texas Instruments, Global Foundry 등이 시장에서 가장 높은 시장점유율을 보유하고 있으며 메모리 반도체의 경우 삼성전자, SK hynix, Micron이 시장을 차지하고 있다. 삼성과 SK hynix를 제외하면 모두 미국기업으로 이번 ‘Semicon West 2013’에 참여하여 해당 기업들과 심도있는 미팅을 진행했다는데 큰 의미가 있다”라고 전하며, “위의 업체 외에 다양한 글로벌 반도체 기업으로부터 Nano-MEIS에 대한 기술 및 구매 문의를 받아 현재 대응 중에 있으며 이러한 관심은 Nano-MEIS가 세계시장에서도 그 경쟁력을 인정받을 수 있다는 가능성을 확인한 것이다”라고 말하였다. 마지막으로 “이번에 구축한 글로벌 Network를 적극 활용하여 반도체 검사장비 시장 진출을 더욱 가속화할 예정이다”라고 전했다.

Nano-MEIS(Medium Energy Ion Scattering)란 고집속화된 중에너지 이온을 분석 시편에 조사하여 시편을 구성하는 원자핵에 산란된 1차 이온을 측정/분석하는 장비로 TOF(Time of Flight)방식을 이용하여 그 동안에 측정불가였던 수 nm의 반도체 웨이퍼 두께 및 조성까지 정성 및 절대 분석할 수 있는 기술이며 2007년도부터 한국표준과학연구원(현재 대구경북과학기술원)과 공동 연구 개발하여 상용화 하였다.

본 기술을 통해 10 nm 이하의 초박막, 초미세 접합(Ultra Shallow Junction) 시편의 두께, 조성 분석, 시편의 결정성 정도 및 구조 분석, 패턴 시편, 양자 효과에 의해 특별한 물성을 갖는 3D 나노 구조/결정 시편 분석에 사용함으로써 국내 반도체 소자산업의 선도적 지위 확립과 반도체 첨단 측정 장비산업 전반의 기반 강화 및 경쟁력 확대에 기여할 수 있을 것으로 기대된다. 또한, 초박막의 미세 영역을 측정할 수 있다는 점을 이용하여 탄소 나노튜브나 세포 등을 분석할 수도 있어 바이오 시장으로도 진입이 가능할 것으로 기대된다.