하나마이크론의 자회사인 하나실리콘(대표 최창호)이 국내에서는 처음으로 직경 510mm 단결정 실리콘 잉곳 개발에 성공했다.

하나실리콘은 최근 510mm 잉곳 개발을 완료하고 향후 양산을 위해 설비를 추가로 도입할 계획이라고 6일 밝혔다. 지난 1월 480mm에 이어 다시 한번 국내 최대 크기의 실리콘 잉곳을 최초로 만들어낸 것이다. 실리콘 잉곳이란 폴리실리콘을 고순도로 변환해 성장시킨 반도체용 웨이퍼의 원재료를 말한다.

하나실리콘은 잉곳을 정밀가공해 반도체 건식 식각 장비의 필수 부품인 캐소드(Cathode)와 링(Ring)을 생산, 일본의 도쿄일렉트론(TEL)을 비롯한 국내외 유수 반도체 소자 및 장비업체에 공급 중이다.

이번 510mm 잉곳 개발 성공으로 하나실리콘은 조만간 도래할 18인치(450mm) 반도체 웨이퍼 시대에 필요한 기술을 선점하는 효과를 거뒀다. 아울러 잉곳 생산설비를 추가로 도입해 480mm 잉곳 개발로 확보한 18인치 웨이퍼 시장 교두보를 더욱 확고히 하기로 했다.

세계반도체협회의 ITRS(International Technology Roadmap for Semiconductor ; 국제반도체기술로드맵)에 따르면 현재 주력인 12인치 웨이퍼가 2012년 이후 부터 18인치(450mm) 웨이퍼로 교체될 것으로 전망된다.

11월말 설비가 추가로 도입돼 내년부터 본격 가동되면 잉곳 자급률이 현재 30%에서 60%대로 높아지고 생산단가 및 외부구매비용 축소로 수익성이 개선될 것으로 보인다고 하나실리콘 측은 밝혔다.