아스타가 반도체 공정용 분석기기 양산 테스트에 돌입하며 사업 영역을 반도체 분야로 확대한다. 회사는 최근 산업통상자원부의 ‘반도체 공정 실시간 진단 및 모니터링용 가스 질량분석시스템 양산성능평가 사업’에 선정돼, 개발 장비에 대한 현장 적용 평가를 진행한다고 밝혔다.

이번 사업은 반도체 제조 공정에서 사용되는 각종 기체를 고정밀로 실시간 분석할 수 있는 질량분석 시스템의 양산 성능을 검증하고, 실제 생산 현장 적용 가능성을 확인하는 것을 목표로 한다. 아스타는 비행시간형(Time-of-Flight, TOF) 질량분석 기술을 기반으로 반도체 공정에 최적화된 고감도 실시간 기체 분석 장비를 개발했으며, 세계적 반도체 기업에서 양산 평가를 진행할 예정이다.

아스타가 선보인 ‘GM-TOF’는 기존 사중극자 방식 잔류가스 분석기(RGA) 대비 빠른 검출 속도와 높은 감도를 갖춘 것이 특징이다. 변화가 민감한 반도체 공정 환경에서 신속한 대응이 가능하며, 모듈화·표준화 설계를 통해 유지보수 시간을 단축할 수 있다. 회사는 부품 교체 및 수리를 수 시간 내 처리할 수 있어 장비 가동률 향상이 기대된다고 설명했다.

TOF 기술이 적용된 실시간 가스 모니터링 시스템은 공정 중 또는 공정 후 클리닝 과정에서 발생하는 가스 조성 변화와 진공도를 정밀 분석해 생산 수율과 품질 개선에 기여하는 장비로 평가된다. 현재 해당 분야 장비는 대부분 해외 제품에 의존하고 있으며, 대당 4억~6억 원 수준의 고가 장비로 알려져 있다. 산업계에서는 가격 경쟁력과 신속한 기술 지원이 가능한 국산 장비 필요성이 꾸준히 제기돼 왔다.

회사 측은 클라우드 기반 TOF-MS(Time-of-Flight Mass Spectrometer) 기술을 활용해 가격 경쟁력과 품질을 동시에 확보하고, 수입 장비 대체와 글로벌 시장 진출을 추진하겠다고 밝혔다.

아스타는 GM-TOF 장비가 반도체 외에도 화학사고 대응, 폭발물 탐지, 제한물질 모니터링, 산업 현장 오염가스 분석 등 다양한 응용 가능성을 지니고 있다고 설명했다. 이차전지와 OLED 디스플레이 분야에서도 활용 가능성이 제기된다.

회사는 2025~2026년 내 해당 시스템을 실제 반도체 생산 현장에 적용하는 것을 목표로 하고 있다. 의료 분야에서 축적한 분석 기술을 기반으로 산업용 첨단 분석장비 시장까지 사업을 확장해 글로벌 종합 분석기기 전문기업으로 도약하겠다는 계획이다.