SMEC가 반도체 카세트 이송장비와 관련된 특허를 취득했다고 밝혔다.

더블암식 3단 카세트 이송 로봇은 클린룸 환경에서 반도체 웨이퍼, LCD 글라스, 솔라셀 등을 이송하는 장비이다. 기존 장비들이 지상에 부착되어 공간을 차지한다는 점에 착안, 지난 해 11월 SMEC가 천장에 부착되어 업무를 수행하는 더블암식 2단 카세트 이송로봇을 개발한 바 있다. 이번 특허는 기존 기술을 업그레이드한 것이다.

SMEC에서 지난 해 개발한 더블암식 2단 카세트 이송 로봇은 현장 공간 효율의 극대화를 위해 바닥이 아닌 천장에 부착되는 방식으로 기존 이송장비와 차별성이 있었다. 이번 특허 기술의 가장 큰 변화는 로봇 몸체가 3단으로 접히도록 설계해 로봇의 움직임을 보다 자유롭게 한 것이 특징이다.

회사 관계자는 “클린로봇은 당사가 지속적으로 매출이 일어나는 분야이며 본 발명은 해당 분야의 업그레이된 기술”이라며 “기술을 한 번 개발하고 끝내는 것이 아니라 지속적인 보완 및 발전과정을 거침으로써 더 완성도 높은 SMEC만의 기술이 되는 것, 기술 개발이 결국 회사 미래 성장엔진의 가장 큰 역할을 하게 될 것”이라고 꾸준한 기술 개발에 대한 의지를 밝혔다.