코셈이 고성능 이온건 기술에 대한 국가 공인 신기술(NET) 인증을 획득하며 차세대 반도체 분석 장비 시장 공략에 속도를 내고 있다. 회사는 해당 기술을 적용한 융복합 분석 장비 ‘CP-SEM’ 상용화를 통해 반도체와 이차전지 등 고부가가치 산업 진입을 확대할 계획이다.

코셈은 산업통상자원부로부터 ‘단면 및 표면 폴리싱이 가능한 CP-SEM용 이온건 기술’에 대해 국가 공인 신기술(NET) 인증을 획득했다고 18일 밝혔다.

이번 인증 기술은 고성능 이온밀러와 주사전자현미경(SEM)을 결합한 분석 장비용 핵심 기술이다. 코셈은 독자적인 자속(Magnetic Flux·자기선속) 설계를 통해 플라즈마 생성 효율과 이온빔 전류 밀도를 높였으며, 챔버 도어 연동형 가스관 접속 구조를 적용해 공정 안정성과 신뢰성을 강화했다고 설명했다.

반도체 공정용 고성능 이온건 시장은 현재 미국 써모 피셔 사이언티픽(Thermo Fisher Scientific) 등 글로벌 기업 중심으로 형성돼 있다. 코셈은 이번 기술 국산화를 통해 해외 의존도를 낮추고 국내 반도체 장비 공급망 안정화에도 기여할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

회사는 해당 기술을 적용한 차세대 분석 장비 ‘CP-SEM’을 기반으로 기존 고가 장비인 집속이온빔(FIB) 시장 대체에도 나선다. CP-SEM은 시료 전처리와 전자현미경 분석 기능을 하나의 장비에 통합한 융복합 장비다.

특히 대기 비개방형 플랫폼 기반 자동 이송 시스템을 적용해 시료가 외부 공기에 노출되지 않은 상태에서 분석이 가능하도록 설계됐다. 이를 통해 산소와 수분 노출에 따른 시료 변형과 데이터 왜곡 가능성을 줄였다고 회사 측은 설명했다.

코셈은 CP-SEM이 기존 FIB 장비 대비 약 10분의 1 수준 가격 경쟁력을 확보하면서도 반도체와 고대역폭메모리(HBM), 유기발광다이오드(OLED), 차세대 배터리 등 다양한 첨단 산업 분야에 적용 가능한 성능을 구현했다고 밝혔다.

이준희 코셈 대표는 “이번 NET 인증은 코셈의 이온건 원천기술과 양산 적용 가능성을 공식적으로 인정받은 의미 있는 성과”라며 “반도체 공급망 진입과 하이엔드 분석 장비 시장 확대를 통해 기업 경쟁력을 높여 나가겠다”고 말했다.