3S, ‘웨이퍼 캐리어 덮개 잠금장치’ 특허권 취득
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3S, ‘웨이퍼 캐리어 덮개 잠금장치’ 특허권 취득
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㈜삼에스코리아(이하 3S)는, 웨어퍼 캐리어 덮개 잠금 장치에 관련된 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.

이 특허는 웨이퍼 캐리어 덮개 잠금 장치에 관한 것으로서, 덮개의 잠금 및 잠금 해지 과정에서 요구되는 회전 토크 크기를 시차를 두고 분산시켜 규정된 최대 회전 토크 범위 내에서 좀더 안정적으로 덮개의 잠금 및 잠금 해지 동작이 이루어질 수 있도록 하는 웨이퍼 캐리어 덮개 잠금 장치에 관한 것으로, 현재 3S의 주력 제품인 FOSB에 적용되어 제품경쟁력 강화와 더불어 웨이퍼 캐리어 사업에서 더욱 확고한 입지를 다질 것으로 예상된다고 회사 관계자는 밝혔다.
 

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임수민 기자
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