SMEC가 더블암식 2단 카세트 이송로봇을 개발해 특허를 취득했다.

SMEC는 반도체 웨이퍼, LCD글라스, 솔라셀 제조공정과 같은 클린룸 환경에서 사용되는 반송용 로봇인 더블암식 2단 카세트 이송 로봇(Double Arm type two step cassette lifting robot)을 개발했다.

현재 반도체 웨이퍼, LCD, AMOLED, 솔라셀 등 거대한 기판을 제조하는 과정 중 기판을 이동시키기 위한 카세트 이송로봇은 지상에 부착된 레일을 따라 이동한다. 로봇암이 카세트를 들어 로봇 본체에 실어 레일을 따라 다음 과정으로 카세트를 이동시키는 방식이다.

즉 현장에서 제조 장비 외에도 이송로봇을 위한 추가 여유공간을 별도로 확보해야 하는 것이다. 또한 이송로봇의 규모가 크고 바닥에 설치된 레일이 작업 현장에 불편함을 줄 수도 있다는 문제가 있다.

SMEC가 이번에 개발한 더블암식 2단 카세트 이송 로봇은 로봇의 위치를 바닥에서 기존의 빈 공간인 천정으로 변경했다는 것이 가장 큰 특징이다. 천정에 로봇을 고정하고 주행 레일을 설치해 천정에 부착된 로봇이 기판을 집어 올려 천정에서 기판을 이동시키는 작업을 수행할 수 있도록 한 것이다.

이 로봇의 가장 큰 강점은 반송 로봇이 현장에서 차지하는 공간을 최소화하고 현장의 빈 공간 활용을 최대화 했다는 점이다. 이를 위해 기판을 집어 올리기 위한 로봇암의 작업반경과 작동공간을 최소화하고 천정에 설치된 이송로봇과 작업대 사이의 공간을 최대한 활용할 수 있도록 설계되어 로봇의 공간 효율성을 극대화 했다.

회사 관계자는 “이 로봇이 기존 로봇을 대체하게 되면 작업 현장에 따라서는 기존 로봇이 차지하던 공간에 추가로 생산 라인을 도입할 수도 있어 생산 효율 증대에도 기여할 수 있을 것으로 본다”며 “실제 활용도가 높아 상용화도 가능할 것으로 기대한다”고 말했다.