^^^▲ 플라즈마응용 반도체 공정용 진공로봇 개발 ⓒ 뉴스타운 김종선^^^

강원도는 플라즈마 응용산업에 대한 국제경쟁력 확보와 공동연구 기반조성, 시장진출을 모색하기 위하여 지난 해 11월 22일 김진선 강원도지사가 독일 칼스루헤대학교를 방문하여 플라즈마 공동연구 상호협력을 다지는 MOU체결 이후 그 후속조치로 1차년도에 진행할 프로젝트로「플라즈마응용 반도체 공정용 진공로봇 개발」를 위한 계약을 체결하고 다음달 부터 착수하여 속도감 있게 가시화 시킬 계획이다.

이번에 진행하는「플라즈마응용 반도체 공정용 진공로봇개발」 프로젝트는경쟁적이고 혁신적인 산업으로 반도체 공정용진공로봇의 디자인 및 시제품개발로서 플라즈마 데포지션(플라즈마 퇴적)등 진공상태에서의 기존방법에 대한 이용과 새로운 방법의 개발이 프로젝트의 핵심 주제가 된다.

이 프로젝트는 강원도· 강원테크노파크(원장 박수복)와 독일 칼스루헤대학교의 IMI연구소를비롯하여 다름슈타트대학(전기 컴퓨터공학과)등 4개 프로젝트팀의 종합적인 선진기술을 기반으로 개발된 제품의 지적재산권과 특허 사용권 활용을통해 도내 창업 등상업적 활용을 진행 할 계획이다.

개발된 제품은 강원도내 연구소와 관련된 진공세라믹 베어링, 진공용 윤활유, 진공용 금속표면 처리 및 물류이동과 관련한 공장자동화 시뮬레이션 기술 등에 접목시켜 기술의 고부가가치화를 도모하게 된다.

아울러, 이 프로젝트를 통해강원도는 독일 소유의 유/무형 선진 기술자원을 활용하여 플라즈마 국제 공동연구소 설립 기반을 마련하게 되었고, 강원도내 플라즈마 응용기술 향상은 물론향후 산업발전을 촉진하는 첫번째 전기를 마련하여 철원군의「플라즈마산업 첨단 R&BD집적지 조성」에도 크게 기여할 것으로 기대하고 있다.

한편 국내 로봇시장은 반도체, 자동차, 항공산업의 발전으로 제조업 로봇 중심으로는 약 2천억원 규모의 시장이 형성되어있어 반도체 제조공정에 활용되는기술과디스플레이 및 광학 미디어용 기술의 국산화가 시급한 실정이다.