테라뷰, 13.6억원 규모 EOTPR 공급계약 체결

테라뷰홀딩스(대표이사 도널드 도미닉 아논, 이하 테라뷰)는 미국 검사·계측 전문기업 ‘코밸런트 메트롤로지(Covalent Metrology)’와 13억6,146만4,000원 규모의 반도체 검사장비 EOTPR 공급계약을 체결했다고 29일 밝혔다.

이번 계약금액은 테라뷰의 최근 매출액 대비 17.39%에 해당하며, 계약기간은 2026년 9월 25일부터 2027년 1월 20일까지다.

‘코밸런트 메트롤로지(Covalent Metrology)’는 반도체 소재·소자의 품질 및 불량분석 서비스를 제공하는 미국 전문기업이다. 테라뷰는 이번 공급을 통해 AI 반도체 검사 분야의 고객 레퍼런스를 강화하고, 글로벌 파운드리와 외주 검사·제조 파트너사를 대상으로 EOTPR 공급 확대에 나설 계획이다.

이번 계약은 테라뷰의 기존 고객사인 글로벌 주요 AI 반도체 기업이 품질보증과 고장분석을 담당하는 외부 검사·계측 파트너사에 EOTPR 도입을 요청하면서 성사됐다. 글로벌 AI 반도체 기업과 진행해 온 기술 협력이 실제 장비 공급계약으로 이어졌다는 점에서 의미가 있다.

EOTPR은 테라헤르츠파를 활용해 반도체 패키지를 손상시키지 않고 내부 연결부의 결함을 검출하고 위치를 분석하는 비파괴 검사장비다. 테라헤르츠파는 적외선과 마이크로파 사이에 위치하는 전자기파로, 검사 대상의 내부 구조와 결함을 정밀하게 확인할 수 있는 것이 특징이다.

테라뷰는 글로벌 주요 AI 반도체 기업들과 공동 연구 프로그램을 진행하며 첨단 반도체 패키지 내부 연결부의 결함을 검출하고 위치를 특정하는 EOTPR 기술의 활용성을 검증해 왔다. 공동 논문과 산업계 발표를 통해 축적한 기술 성과는 글로벌 반도체 기업과 파운드리, 외주 검사·제조 파트너사의 EOTPR 도입을 뒷받침하는 주요 레퍼런스로 작용하고 있다.

최근 GPU와 HBM 등 서로 다른 반도체를 하나의 패키지에 통합하는 이종집적 기술이 확산하면서 패키지 내부의 미세 연결부를 정밀하게 검사하는 기술의 중요성이 커지고 있다. AI 반도체의 고성능화와 패키징 구조의 복잡도 증가에 따라 생산 단계의 품질보증뿐 아니라 고장 원인을 분석하기 위한 비파괴 검사 수요도 확대되는 추세다

도널드 도미닉 아논 테라뷰 대표이사는 “글로벌 주요 AI 반도체 기업들과 긴밀한 기술 협력을 이어오며 EOTPR의 차별화된 가치를 반도체 산업 전반에 알리고, 이를 실제 판매로 연결하고 있다”며 “이번 외주 검사·계측 파트너사 대상 공급 역시 테라뷰와 협력 중인 AI 반도체 기업의 요청을 기반으로 성사됐다”고 말했다.

이어 “EOTPR은 GPU와 HBM 등 개별 소자뿐 아니라 AI 반도체 내부에서 소자를 연결하는 미세 구조의 결함 검사에도 활용된다”며 “개별 소자와 소자 간 연결부 검사는 테라뷰의 주요 성장 분야로, 이번 수주는 해당 분야의 성장 가능성이 실제 장비 공급으로 이어진 명확한 사례다. AI 반도체 기업들이 정기 검사 공정에서 EOTPR의 필요성을 지속적으로 강조하고 있다는 점도 향후 시장 확대 가능성을 뒷받침한다”고 덧붙였다.