메카로, 반도체 공정용 세라믹 히터 공동개발 프로젝트 완료

메카로(대표이사 이재정·박영순)는 국내 메모리 반도체 소자기업과 공동으로 진행해 온 세라믹 히터(AlN, 질화알루미늄) 공동개발 프로젝트(JDP)를 종료하고, 고객사의 품질 인증을 완료했다고 10일 밝혔다.

이번 과제는 2024년 4월 착수해 2026년 7월 마무리된 약 2년 3개월간의 공동개발 프로젝트로, 반도체 기판인 실리콘 웨이퍼에 열에너지를 균일하게 공급하는 기판 가열 장치(Heater)의 열선 패턴 설계 및 밀도 조정 기술을 핵심으로 한다. 메카로는 고객사와의 협업을 통해 요구 사양을 충족하는 제품을 개발했으며, 고객사 평가 절차와 장기 가동 테스트를 거쳐 품질 인증을 획득했다.

세라믹 히터(AlN)는 기존 금속(Metal) 소재 히터보다 높은 온도에서 사용할 수 있어, 반도체 공정의 미세화·고단화가 진행되면서 수요가 확대되고 있는 부품이다. 다만 세라믹 파우더 제조와 성형 등 공정이 복잡하고 설비 투자 부담이 커 진입 장벽이 높은 분야로 꼽힌다. 메카로는 2022년 세라믹 히터 개발에 본격 착수했다.

메카로는 2000년 설립 이후 일본·미국 기업이 주도하던 메탈 히터블록의 국산화에 나서 국내 시장 점유율 약 90%(회사 추산)를 확보했으며, 이번 과제를 통해 세라믹 계열로 제품군을 넓히게 됐다.

이재정 메카로 대표는 “메탈 히터와 세라믹 히터는 웨이퍼에 열을 균일하게 전달한다는 기본 원리가 같지만, 제조 공정의 난도와 설비 부담은 크게 다르다”며 “오랜 기간 개발해 온 업체들이 있는 시장에 후발주자로 진입해 3년여 만에 고객사의 양산 단계까지 왔다”고 말했다.

반도체 고객사가 히터를 교체하려면 장비별 공정 조건을 다시 최적화해야 하는 만큼, 초기에는 일부 장비에 적용된 뒤 수율과 수명이 검증되는 과정을 거쳐 채택 범위가 넓어지는 것이 일반적이다.

한편, 메카로는 반도체 칩을 만드는 웨이퍼에 열에너지를 균일하게 공급하는 ‘히터블럭’ 부품을 주력으로 하는 반도체 부품 전문기업으로, 삼성전자와 SK하이닉스를 비롯한 국내 반도체 기업과 해외 장비업체에 제품을 공급하고 있다. 회사는 2025년 연결 기준 매출액 946억원, 영업이익 154억원을 기록했으며, 2026년 상반기에는 연결 기준 매출액 508억6,600만원(잠정)으로 전년 동기 대비 14.6% 증가했다.