도널드 트럼프 미국 대통령은 네덜란드의 반도체 첨단 기술이 중국에 유출되는 것을 막기 위해 광범위한 압력을 강화하고 있다.

로이터 통신 최근 보도에 따르면, 마이크 폼페이오 미 국무장관이 네덜란드 정부에 압력을 넣고 있고, 미 정부 당국자는 네덜란드 총리에게 기밀취급 정보기관 보고서를 보여 달라고 요청했다는 것이다.

지금까지 이렇게 미국과 네덜란드 고위 관계자사이에 오간 내용은 보도되지 않았지만, 세계 최고 속도의 반도체 제조에 필요한 기기가 중국의 손에 넘어가는 것을 차단하기 위해 미국 정부가 얼마나 많은 노력을 기울이는지를 보여 주고 있다고 로이터는 전했다.

동시에 중국으로의 선진 첨단 테크놀로지 유출 방지를 위해 미국 정부가 거의 단독으로 행하고 있는 것은 때로는 매우 곤란한 입장에 빠지는 경우도 발생할 수 있다.

이렇게 미국의 압력이 시작된 것은 지난 2018년부터로 알려졌다. 사정에 밝은 2명의 관계자에 따르면, 노광장치(露光装置)라고 불리는 반도체 제조에 필수적인 프로세스에 있어 세계 최고 수준의 반도체 제조기기 메이커 ASML에 대해 네덜란드 정부가 최첨단 기기를 중국의 고객에게 판매하는 라이선스를 준 것이 압력을 넣기 시작한 계기였다고 로이터는 전했다.

그 이후 수개월에 걸쳐서 미국 당국자는 이 수출을 직접 저지하는 것이 가능한지 아닌지를 검증하고, 네덜란드 정부 당국자와의 사이에 최소한 4번의 협의를 거쳤다고 한다.

결과적으로 마르크 뤼터 (Mark Rutte) 네덜란드 총리가 미국을 방문 중이던 지난해 7월 18일 찰스 쿠퍼먼(Charles Martin Kupperman) 당시 백악관 국가안보 부보좌관이 백악관 내에서 네덜란드 측에 이 문제를 제기하게 됐다.

전 미국 정부당국자에 따르면, 이때 뤼터 총리에게는 중국이 ASML의 테크놀로지를 취득함으로써 예상되는 영향에 관한 정보기관의 보고서가 제시되었다고 한다.

이런 압력이 주효한 것처럼 보인다. 마르크 뤼터 총리의 방미 후 얼마 지나지 않아 네덜란드 정부는 ASML에 제공한 수출라이센스를 갱신하지 않겠다고 결정했고, 1억5000만 달러 상당의 기기는 아직 선적되지 않았다.

네덜란드 총리실 대변인은 “개별라이센스 사안에 대해서는 말할 수 없다”며 언급을 거부하고 있다.

출하 지연을 최초로 보도한 것은 지난해 11월 6일의 일본 닛케이아시안리뷰(Nikkei Asian Review)의 기사이지만, 미국으로부터의 압력의 자세한 내용은 지금까지 밝혀지지 않았다. ASML은 신규라이센스 요청이 승인되기를 기다리고 있다며, 그 이상의 언급은 거부하고 있다.

ASML은 중국 측 고객에 대해서 전혀 공표하고 있지 않지만, 닛케이 이외의 보도에서는 중국 최대의 반도체 제조 전문기업인 중심국제집성전로제조(中芯国際集成電路製造, SMIC)로 되어 있다. 로이터는 SMIC에 코멘트를 요구했으나 답변을 받지 못했다고 전했다.

* 핵심부분은 안전보장

ASML의 기기는 웨이퍼라 불리는 실리콘 판에 극히 정밀한 회로를 레이아웃하기 위해 레이저에 의해 생성되고 거대한 미러(mirror)로 좁혀지는 극단자외선(EUV)의 빔을 이용한다. 이것에 의해서, 민생용이든 군사용이든 불가결하다고 여겨지는 보다 고속으로 강력한 마이크로프로세서, 메모리 그 외의 선진적인 부품의 제조가 가능하게 된다.

현재 최첨단 반도체를 제조할 능력을 갖고 있는 곳은 미국 인텔이나 한국 삼성전자, 대만의 TSMC 등 극소수의 기업에 한정된다.

그러나 중국은 이들 기업을 반도체 제조기술 분야에서 따라잡는 것을 매우 중요한 국가적 우선 과제로 내걸고 있으며, 그 대응책으로 수백억 달러를 투자하고 있다.

이러한 움직임은 국가안전보장상의 이유로 중국으로 고도의 기술 유출 저지를 목표로 하는 트럼프 정권의 대처와 정면 대립해 왔다. 미국 제품의 수출 기업은 현재 특별한 허가가 없으면, 블랙리스트에 실린 중국기업, 예를 들어 거대 전기 통신 업체인 화웨이(Huawei, 華為技術)나 감시기기를 다루는 하이크 비전(杭州海康威視数字技術) 등으로 수출을 할 수 없다.

또, 미국 정부는 비록 블랙리스트에 게재되어 있지 않은 상대일지라도, 미국의 테크놀로지에 의해서 만들어진 제품을 판매하고 싶다고 생각하는 기업에 대해서, 중국 기업으로 수출 허가를 주지 않는 경우가 있을 수 있다. 그렇다고 해도 미국 밖에서 제조를 하고 있는 ASML과 같은 기업의 경우는 테크놀로지 유출의 방지가 훨씬 어려워진다.

현재의 규제 아래서 미국은 자국산 부품이 가격의 25%이상에 상당할 경우, 다른 나라에서 중국으로 출하되는 많은 하이테크 제품에 관해 미국 정부에 의한 허가 취득을 의무화할 수 있다. 미 상무부는 ASML의 EUV기기에 대해 감사를 실시하지만 25% 이상이라는 기준에 해당된다는 결론에는 이르지 못했다고 한 관계자는 밝혔다.

미 상무부는 현재 일부 케이스에 관해서 25%라고 하는 기준을 더욱 엄격하게 하는 것을 검토하고 있는 것으로 전해지고 있다. 수출을 직접 막을 방법이 없었기 때문에, 트럼프 행정부는 동맹국인 네덜란드에 대해 안전보장상의 관점을 고려하도록 요구했다.

집적 회로 제작을 할 경우 실리콘칩 표면에 만들고자 하는 패턴을 빛으로 촬영한 수지를 칩 표면에 고정한 후 화학처리나 확산 처리하는 기술인 리소그래피(Lithography)는 민생과 군사 양쪽에서 이용되는 이른바 “군민양용(dual uses)” 테크놀로지의 수출 제한에 관한 국제협정의 대상이 되고 있다.

미 국방부 당국자는 ASML 제품 수출의 안전 보장상의 리스크에 관해 네덜란드 측의 카운터 파트와 협의를 거듭했다. 회의는 지난 2018년 말과 2019년 1월에 워싱턴 주재 네덜란드 대사관에서 열렸다고 한다.

또 ASML로서는 영업상의 이유로 수출을 추진할 필요가 있었지만, 폼페이오 국무장관이 뤼터 총리에게 직접, 제품 수출을 저지하도록 촉구했다고 한다.

과거 20년간에 리소그래피 시장에서 압도적 점유율을 자랑하게 된 ASML은 주식 시가총액이 1100억 유로를 넘는 네덜란드 산업계의 꽃이다.

폼페이오 미 국무장관은 지난해 6월 3일 헤이그에서 기자들과 만나 “우리가 요구하는 것은 우리의 동맹국과 우방국들이 공통의 안전보장상의 이익을 해치는 행동을 취하지 않도록 하는 것”이라고 말했지만, 반도체 제조기기에 대해서는 특별히 언급하지 않았다.

백악관 방문 중이었던 뤼터 네덜란드 총리는 정보기관에 의한 보고서 사본을 제공받았다. 트럼프 미국 대통령이 백악관에서 뤼터 총리와 회담했을 때 ASML의 기기 수출 문제를 언급했는지 알려지지 않고 있다.

네덜란드 외무부가 공개하고 있는 수출라이센스에 관한 일반용 데이터베이스(db)에 따르면, ASML이 취득한 수출라이센스는 활용되지 않은 채 2019년 6월 30일에 취소됐고, 그 후 갱신 신청의 통상적인 심사 기간인 8주가 지나갔어도 새로운 라이센스는 부여되어 있지 않은 것으로 확인됐다.

네덜란드 외무부 대변인은 ‘민군양용’ 기술의 수출라이센스에 대해 네덜란드 정부는 주권국으로서 독자적으로 판단하고 있으며, 개별 사례에 대해서는 코멘트하지 않겠다고 말하고 있다.

한편, ASML에서는 EUV기기 수출라이센스 유무에 관계없이 구세대의 기기 수출이 계속됨에 따라 2020년에는 중국을 허브로 만들기 위한 수출이 확대될 것으로 예상하고 있다.